検査の概要

■計測条件(heliInspect H8 x50)

□ 水平分解能：0.48μm/pix

□ スキャンレンジ：0.5mm

□ スキャンスピード：3mm/sec

□ 撮影視野：0.26mm x 0.25mm

□ WD：2.52mm

持ち手側はWDが遠くなり計測できない

→ マシン側のみ計測としました

画像処理のフロー

本検討で実施した画像処理のフローは以下の通りです。

検出結果

ダイヤ粒部分を白色ベース面(ダイヤ粒以外)を暗灰色として塗分けています。(下図参照ください)

また、1個として分離できるものの個数を算出しています。

※隣同士がくっついて1個と認識されてしまうものもあります。

画像処理結果(SEM比較)：小(2～4μm)

SEM画像と分布状況を比較します。また、算出された平面大きさから色の塗分け、最大最小の長辺寸法表示を行っています。

青：2μm超 黄色：1μm～2μm 赤：1μm未満

画像処理結果(SEM比較)：中(2～6μm)

SEM画像と分布状況を比較します。また、算出された平面大きさから色の塗分け、最大最小の長辺寸法表示を行っています。

青：2μm超 黄色：1μm～2μm 赤：1μm未満

画像処理結果(SEM比較)：大(4～6μm)

SEM画像と分布状況を比較します。

また、算出された平面大きさから色の塗分け、最大最小の長辺寸法表示を行っています。

青：4μm超 黄色：2μm～4μm 赤：2μm未満

まとめ

いかがでしたでしょうか。今回は、ダイシングブレードの外観検査の事例をご紹介しました。画像検査.comを運営する岡部機械工業では、このような画像処理検討・開発はもちろん、自動化装置の設計・製造・据付立上げまで一貫して全てお受けできます。 画像検査・自動化でお悩みの方は、ぜひ当社までお問い合わせください。