導入事例・効果

ダイシングブレードの外観検査

ダイシングブレードの外観検査 1

  • ダイシングブレードの外観検査 1 サムネイル
  • ダイシングブレードの外観検査 2 サムネイル
  • ダイシングブレードの外観検査 3 サムネイル
業界
製造業
カメラ
レンズ
照明
ライブラリ

検査の概要

■計測条件(heliInspect H8 x50)

□ 水平分解能:0.48μm/pix

□ スキャンレンジ:0.5mm

□ スキャンスピード:3mm/sec

□ 撮影視野:0.26mm x 0.25mm

□ WD:2.52mm

持ち手側はWDが遠くなり計測できない

→ マシン側のみ計測としました

画像処理のフロー

本検討で実施した画像処理のフローは以下の通りです。

検出結果

ダイヤ粒部分を白色ベース面(ダイヤ粒以外)を暗灰色として塗分けています。(下図参照ください)

また、1個として分離できるものの個数を算出しています。

※隣同士がくっついて1個と認識されてしまうものもあります。

画像処理結果(SEM比較):小(2~4μm)

SEM画像と分布状況を比較します。また、算出された平面大きさから色の塗分け、最大最小の長辺寸法表示を行っています。